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全球芯片短缺狀況反復出現(xiàn),半導體制造行業(yè)備受矚目。該行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈長,從工藝上可分為三大道工藝:單晶硅片制造—前道工藝—后道工藝,這三大制造工藝里涉及設備眾多,如單晶爐、光刻機、晶圓檢測等等。受半導體高精尖要求和市場格局影響,這些設備電源需要滿足高可靠、高性能、瞬態(tài)帶載能力強、國產(chǎn)化等要求。
光刻機:用于制造芯片中的圖形模式,是半導體芯片制造中最復雜、最精密的設備。
2.刻蝕機:用于在襯底上去除不需要的材料,形成芯片中的電路圖案。
3. 薄膜沉積設備:用于在晶圓上沉積薄膜,包括物理沉積(PVD)和化學沉積(CVD)。
4. 清洗設備:用于對制造過程中的晶圓、器件或設備進行清洗,以保證其表面的干凈和光滑度。
5. 退火爐:用于對芯片或器件進行退火處理,改變其電性能或物性。
6. 離子注入設備:用于將摻雜物注入芯片或器件中,改變其電性能或物性。
7. 電鍍設備:用于在晶圓上進行電鍍,形成金屬或合金的薄膜。
8. 拋光設備:用于對芯片或器件進行拋光處理,改善其表面平整度和光滑度。
這些設備在半導體行業(yè)中對電力供應的穩(wěn)定性要求較高,因此通常需要使用UPS(不間斷電源)來保證其供電穩(wěn)定,以防止因電力波動或停電導致的設備損壞或生產(chǎn)中斷。UPS能夠提供穩(wěn)定的電力輸出,確保這些設備能夠正常運行并保護其不受電力異常的影響。
在半導體行業(yè)中,許多設備都對電力供應的穩(wěn)定性和可靠性有很高的要求,因此需要使用UPS(不間斷電源)來保證供電的連續(xù)性。以下是半導體行業(yè)中一些常見的設備需要使用UPS電源:
半導體制造設備:半導體制造設備,如光刻機、薄膜沉積機、離子注入機、化學機械拋光機等,對電力供應的穩(wěn)定性和紋波值要求較高,以確保生產(chǎn)過程的質量和穩(wěn)定性。UPS電源可以在電力中斷或電力波動時,提供穩(wěn)定的電力輸出,防止設備停機和生產(chǎn)中斷,保護設備和產(chǎn)品的安全。
數(shù)據(jù)中心設備:半導體行業(yè)中的數(shù)據(jù)中心設備,如服務器、存儲設備、網(wǎng)絡設備等,對電力供應的穩(wěn)定性和可靠性要求極高。UPS電源可以保障數(shù)據(jù)中心設備在電力中斷或電力波動時持續(xù)運行,防止數(shù)據(jù)丟失、硬件損壞和服務中斷,確保數(shù)據(jù)中心的持續(xù)運行和業(yè)務連續(xù)性。
檢測和測試設備:半導體行業(yè)中的檢測和測試設備,如測試臺、檢測儀器、分析儀器等,對電力供應的穩(wěn)定性和準確性要求較高。UPS電源可以保障這些設備在電力中斷或電力波動時正常工作,確保測試和檢測結果的準確性和可靠性。
其他關鍵設備:在半導體生產(chǎn)過程中,還可能涉及到其他關鍵設備,如氣體供應設備、真空泵、溫控設備等,這些設備對電力供應的穩(wěn)定性和連續(xù)性也有較高的要求。UPS電源可以保障這些設備在電力異常情況下正常工作,防止生產(chǎn)中斷和設備損壞。
需要注意的是,選擇UPS電源時應根據(jù)實際設備的需求和生產(chǎn)環(huán)境進行合理的選擇,并與專業(yè)的UPS供應商進行充分的溝通和咨詢,以確保選擇到合適的UPS電源,為半導體行業(yè)中的關鍵設備提供可靠的電力支持。